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OLED柔性屏的制造难点与解决方案

来源: 时间:2022-06-29 10:58:28 浏览次数:

由于OLED与TFT-LCD器件在结构、材料属性和发光原理上的差异,OLED发光器件更适合制造柔性屏幕 – Flexible Screen。当前柔性屏还被广泛称为曲面屏,因为其只是呈现出一个固定的曲面,看上去还不算“柔性”,这是因为由于屏幕还需要玻璃来维护,而玻璃材料有其不可逾越的弯曲障碍。

“柔性”屏幕目前正向“可弯折(Bendable)”和“可折叠(Foldable)”两个方向发展,但最终的终极目标都是为了达到“可弯曲(Rollable)”屏幕的状态。

而制造柔性屏幕初级阶段的“曲面”OLED屏幕也随之带来几项设计与加工工艺上的新探索,其中最主要的包括盖板玻璃要从2D升级到3D、触控技术有所变化和封装工艺的改变。其中最后一项,也是最关键的一项,因为其直接关系到柔性屏幕的良率继而影响量产化的进程。

目前OLED硬屏的封装目前最常用的是以玻璃为衬底的玻璃或金属盖板封装,而柔性器件则以单层和多层薄膜封装。

OLED有一个致命的弱点,怕氧怕水,一旦有氧气或者水汽进入到器件里,就会引起器件寿命的衰减。所以,对于柔性OLED器件,其寿命问题取决于柔性基板及封装技术对于氧气和水汽的隔阻。基于这一原则,柔性OLED的基板材料可以有以下三种选择:超薄玻璃、金属薄片和聚合物。

含有氧化钡或者三氧化二铝的碱式硼玻璃可以作为超薄玻璃,纯硼玻璃同样也可作为超薄玻璃使用。超薄玻璃由于很薄并且脆,因此需要聚合物层来保护玻璃表面,使得玻璃不受外力的损害以及化学试剂的腐蚀。

金属箔片在薄膜封装中表现出优秀的特性。当金属材料的厚度在0.1 mm以下时,其就具有优越的可弯曲性,可用于柔性OLED基板。而且其耐高温性优秀,可承受超过1000摄氏度的高温;热膨胀系数比玻璃和聚合物更加匹配,期间制作过程中可能发生的问题较少;对氧气和水汽的隔阻性优秀,能有效阻止两者的侵入。

但金属箔片作为柔性OLED基板也存在两个问题:一、金属箔片对光的透过率几乎为0,所以以金属箔片为基板的OLED器件只能采用顶部发光结构;二、金属箔片的表面粗糙度较差,需要增加机械抛光和电化学抛光工艺组合来解决问题,并且之后需要加入SiOx介质层使其表面粗糙度降低。

聚合物衬底与玻璃和金属箔片相比,具有柔性更好、更耐冲击等特点。但是由于聚合物衬底不能承受较高的温度。另外,聚合物衬底相比玻璃而言,其表面平整度较差,在聚合物基板上制备导电电极的成功率较低、电阻率较大。所以用于OLED的聚合物衬底材料需要考虑以下三个问题:1.在可见光范围内应该具有95%以上的透射率;2.聚合物所具有的物理化学性质,如热UV稳定性和杨氏模量等;3.提高聚合物对于有害气体的隔阻性能,以及在聚合物衬底上制备电极的成功率,并且降低电阻率。

OLED封装质量的好坏和基底材料的平整度有很大的关系,柔性OLED多采用聚合物代替玻璃为基板,目前主要基板材料有polyacrylates(聚丙烯酸酯)、PETS(聚对苯二甲酸乙二醇酯)、fluorinated-polymers(氟化聚合物)、PEN(聚对萘二甲酸乙二醇酯)、parylenes(聚对二甲苯)、PC(聚碳酸酯)等。

其实,上述聚合物材料都不能满足目前应用的要求,水汽渗透率高是所有聚合物基板的致命缺陷。根据柔性OLED器件的封装要求,需要对聚合物表面制备一层或者多层高阻隔性的保护层。为了减少水汽和氧气通过聚合物基板渗透到器件内部,通常的做法是通过在柔性基板表面沉积多层堆叠结构的无机薄膜来实现,也可以通过粘贴阻隔膜来实现。阻隔膜材料包括SiO2、Si3N4、SiNxOy、Al2O3、AlN和Mg等。阻隔膜一般都是以柔性聚合物基板为基材,在其上通过磁控溅射法、电子束蒸镀法或等离子体增强化学气相沉积法将无机氧化物沉积在衬底上形成水汽阻隔膜。

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